光譜儀又稱分光儀，廣泛為認(rèn)知的為直讀光譜儀。以光電倍增管等光探測器測量譜線不同波長位置強(qiáng)度的裝置。它由一個(gè)入射狹縫，一個(gè)色散系統(tǒng)，一個(gè)成像系統(tǒng)和一個(gè)或多個(gè)出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區(qū)域，并在選定的波長上（或掃描某一波段）進(jìn)行強(qiáng)度測定。分為單色儀和多色儀兩種。

1、啟動(dòng)直讀光譜儀的電源開關(guān)，直讀光譜儀應(yīng)該保持24h都通電。
2、直讀光譜儀啟動(dòng)真空泵，（注：真空泵閥門不要急于打開，等工作幾小時(shí)后，才能打開真空泵閥門）。
3、直讀光譜儀加光電倍增管高壓（將HV開關(guān)ON/OFF撥到ON狀態(tài)，HV指示燈亮表示光電倍增管的高壓已經(jīng)加上）。
4、接通氬氣（直讀光譜儀對(duì)氬氣的要求：氬氣的純度99.99%，含氧量為0.0005%，露點(diǎn)為-60攝氏度。如果每天工作＞24h，用液態(tài)氬，＜24h建議使用高純氬氣，送到光譜儀的壓力0.5-1.5開關(guān)，使用氬氣凈化機(jī)，保持氬氣的純度和壓力恒定，從而得到理想的分析結(jié)果。
5、清理樣品架，清理入射窗口，啟動(dòng)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。
6、分析樣品的取樣和制樣（樣品的處理，不同的材質(zhì)應(yīng)當(dāng)采用不同的方法，黑色金屬及合金、鑄鐵、球鐵經(jīng)過白口化處理其表面的氧化皮。中低合金鋼、高合金鋼及不銹鋼等樣品處理方法是用砂輪來磨出一個(gè)光潔有紋路的平面）。